Á¦ ¸ñ : 5¸Þ°¡ Çȼ¿À» °¡´ÉÄÉ ÇÏ´Â UMCÀÇ CMOS À̹ÌÁö ¼¾¼ °øÁ¤.
2001/01/09
Á¤º¸Ãâó : EE times
5¸Þ°¡ Çȼ¿À» °¡´ÉÄÉ ÇÏ´Â UMCÀÇ CMOS À̹ÌÁö ¼¾¼ °øÁ¤.
¹ÝµµÃ¼ ÆÄ¿îµå¸® ȸ»çÀÎ United Microelectronics Corp.(UMC)´Â µðÁöÅÐ ½ºÆ¿ Ä«¸Þ¶ó¿Í ÃÖ±Ù »ý°Ü³ª°í ÀÖ´Â
ÈÞ´ëÆù Ä«¸Þ¶ó ½ÃÀåÀÇ °ø·«ÀÇ ÀÏȯÀ¸·Î »õ·Î¿î CMOS À̹ÌÁö ¼¾¼ °øÁ¤ÀÌ ÁغñµÇ¾ú´Ù°í ¹àÇû´Ù. À̰ÍÀº
3¸¶ÀÌÅ©·Ð Á¤µµÀÇ Çȼ¿ Å©±â¸¦ °¡´ÉÇÏ°Ô Çϸç 5¸Þ°¡ Çȼ¿ ÀÌ»óÀÇ ÇØ»óµµ¸¦ °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÒ °ÍÀ̶ó°í ÇÑ´Ù.
UMC´Â Photobit»ç¿Í Çù·Â°ü°è¸¦ À¯ÁöÇϸç CMOS À̹ÌÁö ¼¾¼¸¦ °³¹ßÇϰí ÀÖÀ¸¸ç ±×µéÀÇ 0.18¸¶ÀÌÅ©·Ð È¥¼º¸ðµå CMOS ¼¾¼ °øÁ¤À» »ç¿ëÇÏ¿© ¾Æ³¯·Î±×-µðÁöÅÐ ÄÁ¹öÅÍ¿Í µðÁöÅÐ À̹ÌÁö ÇÁ·Î¼¼¼, ±×¸®°í ¼¾¼¸¦ ÇϳªÀÇ Ä¨À¸·Î ¸¸µé¾ú´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¹æ½ÄÀ¸·Î ĨÀ» ÁýÀûÇÏ´Â ¹æ½ÄÀº Ä«¸Þ¶ó Á¦Á¶¾÷üµé·Î ÇÏ¿©±Ý CCD¿¡ ±â¹ÝÀ» µÐ Á¦Ç°°ú °°Àº ¼º´ÉÀ» Áö´Ï´Â CMOS À̹ÌÁö ¼¾¼ Ä«¸Þ¶ó¸¦ ¸¸µé ¼ö ÀÖ°Ô ÇÒ °ÍÀ̶ó°í UMCÃøÀº À̾߱âÇϰí ÀÖ´Ù.
UMC´Â ±×µéÀÌ ±¸ÇöÇÑ À̹ÌÁö¼¾¼ÀÇ ´ÙÅ©-Ä¿·±Æ®(dark-current) ·¹º§ÀÌ 65 pA/cm2 ÀÌÇÏÀ̸ç À̰ÍÀº ÀϹÝÀûÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁø 100 pA/inch2 ÀÇ ¼öÁØÀ» ÈξÀ ¶Ù¾î³Ñ´Â °ÍÀ̶ó°í À̾߱âÇϰí ÀÖ´Ù.
1995³â¿¡ ¼³¸³µÇ¾î¼ Áö±Ý±îÁö PC ºñµð¿À Ä«¸Þ¶ó³ª ÀÇÇпë À̹ÌÁö Àåºñ¿¡ »ç¿ëµÇ¾îÁö´Â 40°¡Áö ÀÌ»óÀÇ CMOS ¼¾¼¸¦ °³¹ßÇØ¿Â Photobit»çÀÇ CEOÀÎ Sabrina Kemeny´Â UMCÀÇ CMOS À̹ÌÁö ¼¾¼ °øÁ¤ÀÌ ÀϹÝÀûÀ¸·Î ±â´ëµÇ¾îÁö´Â ¾çÀÚ ´É·ü(quantum efficiency)À̳ª °¨±¤µµ(sensitivity)¸¦ ÈξÀ ¶Ù¾î ³Ñ´Â´Ù°í À̾߱âÇÑ´Ù.
UMCÃøÀº 1»çºÐ±â ÀÌÀü¿¡ ÀÌ °øÁ¤À» Àû¿ëÇÑ À̹ÌÁö ¼¾¼ ¼³°è°¡ ½ÃÀÛµÉ °ÍÀÌ¸ç ¿ÃÇØ ¸»À̸é ÀÌ °øÁ¤ÀÌ Àû¿ëµÈ Á¦Ç°µéÀÌ ÃâÇ쵃 °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇϰí ÀÖ´Ù.
UMCÃøÀº ÀüÅëÀûÀ¸·Î CCD¿¡ ±â¹ÝÀ» µÐ ÄÍÄÚ´õ ½ÃÀåÀÌ ³»³âÀ̸é CMOS¿¡ ±â¹ÝÀ» µÐ ¼¾¼ ±â¼ú¿¡ ÀÇÇØ Àá½ÄµÇ±â ½ÃÀÛÇÒ °ÍÀ̰í 2002³âÀÌ ÃÀÛµ?ÁîÀ½À̸é ÈÞ´ëÆù¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Ä«¸Þ¶ó¿Í °³ÀÎ¿ë µðÁöÅÐ º¸Á¶Àåºñµéµµ ÀÌ ±â¼úÀ» »ç¿ëÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹ÃøÇϰí ÀÖ´Ù.
UMC´Â ÇöÀç Photobit»ç³ª Rockwell»ç¿Í °°Àº Çù·Â¾÷üµé°ú 0.35-¸¶ÀÌÅ©·Ð°ú 0.25-¸¶ÀÌÅ©·Ð °øÁ¤±â¼úÀ» »ç¿ëÇÏ¿© ÁÖ·Î PCÄ«¸Þ¶ó¿¡ »ç¿ëµÇ¾îÁö´Â CMOS À̹ÌÁö ¼¾¼¸¦ ¸¸µé°í ÀÖ´Ù.
1980³â´ë ÀÌÈÄ·Î ÄÍÄÚ´õ¿Í °íÈÁúÀÇ µðÁöÅÐ ½ºÆ¿ Ä«¸Þ¶ó ½ÃÀå¿¡¼´Â CCD ¼¾¼°¡ È®°íÇÑ ¿ìÀ§¸¦ ´ÙÁ®¿Ô¾ú´Ù. ÇÏÁö¸¸ CCD ±â¼úÀº ´õ ÀÌ»óÀÇ ¹ßÀüÀÌ ¾î·Æ´Ù°í º¸¿©Áö°í ÀÖ´Ù. ¹Ý¸é¿¡ CMOS ¼¾¼ ±â¼úÀº º¸´Ù ÀûÀº ¸éÀû¿¡ ÁýÀûÀÌ °¡´ÉÇÏ°í º¸´Ù ÀûÀº Àü·ÂÀ» ¼ÒºñÇÏ¸ç º¸´Ù ´Ù¾çÇÑ °øÁ¤±â¼úÀÇ Àû¿ëÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ÀÌÀ¯·Î CCD¿¡ ºñÇØ CMOS°¡ º¸´Ù Å« °¡´É¼ºÀ» Áö´Ï°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î º¸¿©Áø´Ù.
Cahners In-Stat GroupÀÇ ºÐ¼®°¡ÀÎ Brian O'Rourke´Â ÇöÀçÀÇ ÀÏ·ÃÀÇ ¿òÁ÷ÀÓµéÀÌ ¼¾¼ »ê¾÷¿¡¼ CCD±â¹ÝÀÇ ÀåºñµéÀÌ CMOS ±â¹ÝÀÇ Àåºñµé·Î ´ëüµÉ °ÍÀ» ¿¹»óÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô ÇÑ´Ù°í À̾߱âÇÑ´Ù.
28°³ ÀÌ»óÀÇ È¸»çµéÀÌ CMOS¿¡ ±â¹ÝÀ» µÐ Á¦Ç°ÀÇ °³¹ß¿¡ ¶Ù¾îµé¾î ÀÖ´Ù. ±×Áß UMC¿Í °°Àº ´ë·® »ý»êüÁ¦¸¦
°¡Áø ÆÄ¿îµå¸® ¾÷ü°¡ ¼ÓÇØ ÀÖ´Ù´Â °ÍÀº ÀÌ ±â¼úÀÌ CCD¿Í ºñ±³ÇÏ¿© °¡°Ý°ú ¼º´É ¸é¿¡¼ °æÀï·ÂÀ» Áö´Ñ´Ù´Â
°ÍÀ» ÀǹÌÇÑ´Ù.
À̹ÌÁö ¼¾¼ ½ÃÀåÀº 1999³â¿¡ ÀÌ¹Ì 10¾ï ´Þ·¯¸¦ ³Ñ¾î¼¹°í 2004³â±îÁö´Â ¸Å³â 75% ÀÌ»óÀÇ ¼ºÀåÀ» ÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸ÀÌ¸ç ±×Áß ¸¹Àº ºÎºÐÀÌ ÈÞ´ëÆù¿¡ »ç¿ëµÇ¾î Áö´Â CMOS À̹ÌÁö ¼¾¼ÀÏ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
ÇöÀç±îÁö´Â Rockwll»ç¿Í Photobit»ç¸¸ÀÌ UMCÀÇ CMOS À̹ÌÁö ¼¾¼ °øÁ¤À» »ç¿ëÇÒ °ÍÀ̶ó°í ¹àÈ÷°í ÀÖÀ¸¸ç, RockwllÃøÀº À̰ÍÀ» °íÈÁúÀÇ ºñµð¿À Ä«¸Þ¶ó Á¦Ç°À» °³¹ßÇϴµ¥ »ç¿ëÇÒ °ÍÀ̶ó°í À̾߱â Çϰí ÀÖ´Ù.
UMCÃøÀº ´ëºÎºÐÀÇ Ä£¼÷ÇÑ À̸§ÀÇ ÈÞ´ëÆù Á¦Á¶¾÷üµéÀÌ UMCÀÇ CMOS À̹ÌÁö ¼¾¼ °øÁ¤¿¡ °ü½ÉÀ» Ç¥Çϰí ÀÖ´Ù°í À̾߱âÇϰí ÀÖÀ¸³ª ÀÚ¼¼ÇÑ °ÍÀº ¹àÈ÷Áö ¾Ê¾Ò´Ù.