2001/02/20
반도체 공장자동화 시스템 및 소프트웨어의 선두 주자인 PRI 자동화 회사는 공장 전체에 걸쳐 구역간
혹은 구역 내에서 웨이퍼 이송시스템인 AeroLoader III를 선보였다. AeroLoader III는 웨이퍼를
공구에서 공구로 직접 이송하며 회사가 최근에 발표한 TransFab 통합물질운송시스템의 주요 성분이다.
Aeroloader III는 300 mm 웨이퍼 전방 개구 통합 포드 및 망선 운반설비를 운반하기 위해 고안되었다.
AeroLoader III는 전체적인 시스템 신뢰도를 향상시키고, 기존의 AeroTrak 운송시스템 중 가장 융통성
있는 분류 알고리즘을 제공하고 고온 로트 배달 시간을 개선할 수 있는 새로운 기능을 가지고 있다.
앞으로 2년에 걸쳐 회사는 300 mm 웨이퍼 제작 시험라인을 마치고 실질적인 300 mm 생산으로 넘어갈
것이라고 PRI 자동화공장시스템 AeroLoader 제품 마케팅 책임자 C. Johnson은 말한다. 직접적인 공구 내
공구 웨이퍼 전달은 전자동화 되어 있는 300 mm 공장에서 매우 중요한 성분이다. AeroLoader III는
제작업체들이 웨이퍼가 정확한 시간에 정확한 공구로 도착되도록 확신감을 갖도록 하는데 필요한 기능과
신뢰성을 가지고 있다. PRI는 전 공장에 걸쳐 웨이퍼의 이동을 조종하고 조절하는 것과 관련된 복잡한
문제들을 이해하고 전문적 기술을 개발하는데 십여 년을 투자해 왔다. AeroLoader III는 본래
제작업체들에게 이미 산업체에서 검증 받은 AeroTrack 시스템에서 기대할 수 있는 동등한 적응성과
신뢰성을 제공하기 위해 설계되었었다.
AeroLoader III는 PRI 제품인 현장에서 검증된 고 신뢰도 및 우수한 적하물 안전도 측면에서 잘 알려진
AeroTrak 플랫폼을 기본으로 한다. 새로운 AeroLoader III 시스템은 기존의 제품보다 좀 더 빠르며, 좀
더 가볍고 제작하기 쉽다. 또한 AeroLoader III 시스템 소프트웨어는 최단거리 전달경로 및 고온 로트
배달 순서를 위한 운반기구 조종을 제공한다. 처리구역에서 처리 도구들의 배열을 완성해야하기 때문에
융통성 있는 자동화시스템은 제작업체들에게 매우 중요하다. 무겁고 배열하기 힘든 자동화 시스템은
제작업체들이 그들의 비싼 처리장비들을 가장 효율적으로 배치하기 어렵게 한다. AeroLoader III
시스템은 제작업체에게 처리 구역에서 최종적 장비 위치를 결정하는데 있어서 가장 뛰어난 융통성을
제공한다는 PRI의 전통을 이어받고 있다.
정보출처 : www.individual.com/frames/story.shtml?story=b0219016.6rg&level3=